分析试验(DPA、FA和CA)
本检测中心自成立以来,完成了数千批元器件的破坏性物理分析(DPA)失效分析(FA)和结构分析(CA),先后为国家重点工程提供失效分析服务;承担了GJB 4027“军用电子元器件破坏性物理分析方法”的制修订,该标准作为电子元器件DPA领域的权威标准,在电子元器件质量保证中起着重要的作用;此外,还承担了GJB 4152“多层瓷介电容器及其类似元器件剖面制备及检验方法”、GJB⠁63“塑封集成电路的潮湿敏感度分级试验方法”和GJB 10179”热真空释气试验方法”等标准的制定。
DPA、CA检测项目:
内部气体成份分析、粒子碰撞噪声检测、X射线检查(X-ray、CT)、超声扫描显微镜检查、密封、内外部目检(OM、3D-OM、UV-OM)、键合强度、芯片剪切强度、剖面制备、玻璃钝化完整性、扫描电子显微镜检查、微区材料定性及半定量分析(SEM-EDS)、化学腐蚀、机械开封、激光开封等。
FA检测项目:IV曲线测试、微光显微镜(PEM-CCD、PEM-InGaAs)、光束诱导电阻变化分析(OBIRCH)、电子束感生电流成像(SEM-EBIC)、热点探测(InSb Hot Spot)、聚焦离子束(FIB线路修补、TEM制样)、原子力显微镜(AFM-SCM)、离子束剖面研磨(CP)。
电性能测试
半导体分立器件测试
静态参数:测试电压10V~3000V,测试电流100pA~600A;
动态参数:测试电压5V~1200V,测试电流20mA~200A;
可测参数包括:夹断电压、阈值电压、正向跨导、阻性负载开关时间、动态电容、反向恢复参数、栅电荷、感性负载开关时间、拖尾时间、开关损耗、短路耐量、短路电流、电容参数及栅电阻等。
射频微波测试
S参数测试:频率范围900Hz~67GHz;
功率放大器、低噪声放大器、混频器、移相器、开关、滤波器、压控振荡器、频率源等器件测试,频率范围3Hz~50GHz,最大测试功率53dBm。
光电器件测试
有源光器件测试。单模、多模有源光器件直流参数、小信号参数和时域参数的性能测试,波长覆盖1310nm、1550nm、850nm等光通信器件可能使用的波长,覆盖发射、接收、调制器件的光功率、光谱、眼图、接收灵敏度、调制带宽等性能指标;
无源光器件测试。可以进行插入损耗IL、偏振相关损耗PDL和回波损耗RL等参数的测试和光不连续性测试。
混合集成电路测试
信号激励能力:DC~120MHz,幅度10VP-P~50Ω;
信号激励能力:DC~330MHz,幅度10VP-P~50Ω;
电源激励能力:500V/90A,15kW;80V/340A,10kW;
电压基准:±1020V,5个量程,精度7位半;
电流基准:最大20A,7个量程,精度7位半;
电压测试范围:±1000VDC、1000VAC,5个量程,精度8位半;
电流测试范围:20ADC、10AAC,8个量程,精度8位半;
电阻测试范围:10Ω~1GΩ,7个量程,精度7位半;
时间测试范围:最小1ns,分辨率250ps;频率测试范围:最大12.4GHz、精度10-9、分辨率12位。运算放大器(含功率运放)、脉宽调制器PWM、电压比较器、电压跟随器、精密电压基准、时基电路、达林顿晶体管阵列等各类模拟器件的交、直流参数测试
DUT电流范围高达±10A,满足功率运放的测试要求;
可进行压摆率SR+/SR-、增益带宽积BW等动态参数的测试;
失调电压测试分辨力高达0.01uV,偏置电流测试分辨力高达0.05pA;
可在±40V的共模电压上叠加uV、mV级精密差模电压;支持输入微小精密电压扫描测试方法,测试失调电压与滞回电压。
阻容感、晶体振荡器等元器件测试。
寿命试验
开展高温/常温稳态寿命、高温反偏、间歇寿命、IGBT功率循环(秒级、分钟级)、加速应力试验(HALT、HASS)及阻容老化等试验。配备大功率分立器件寿命试验台,间歇寿命试验系统,集成电路高温动态老化系统及高温综合试验系统等。
物理试验
球栅阵列(BGA)焊球剪切、焊球拉脱试验;镀层厚度测试;高精度尺寸测量(平面度、焊球共面性、粗糙度);耐溶剂性;可焊性、耐焊接热试验;高灵敏度密封试验(光学检漏、He/O2一步式检漏、累积氦检漏、染料渗透检漏);封装热变形、压力变形;热分析(热阻、红外热像、反射率热成像);静电放电敏感度分级(ESD)、闩锁试验;引线牢固性试验;引线涂覆附着试验;玻璃熔封盖板扭矩试验;连接器的各种试验。
环境试验
气候环境:温度循环(空气-空气)、热冲击(液体-液体)、低气压、温度-湿度-低气压、盐雾/盐气、交变/稳态湿热、高温贮存、低温贮存、强加速稳态湿热、高压蒸汽、臭氧、霉菌、浸渍等。
机械环境:随机振动、扫频振动、低频振动、高频振动、振动疲劳、振动噪声、机械冲击、恒定加速度、冲击响应谱等。
空间环境试验
热真空试验、热真空释气试验、真空冷焊试验