服务能力

1、校准系统名称

硅单晶方块电阻标准样片校准装置

2、主要功能和指标

2.1主要功能

硅单晶方块电阻标准样片校准装置用于对硅单晶方块电阻标准样片进行校准。

2.2指标

参数名称	测量范围	最大允许误差
方块电阻	0.05Ω/□～1500Ω/□	±0.5%～±1.5%

 3、校准对象，系统的特色，能够解决什么问题或需求

3.1校准对象

校准对象是硅单晶方块电阻标准样片。硅单晶方块电阻标准样片是用于校准四探针测试仪的专用设备，广泛应用于半导体器件生产和测试单位。

硅单晶方块电阻标准样片校准装置主要是计量机构在使用，比如美国NIST，中国电子技术标准化研究院，中国国家计量院等计量机构。

3.2系统的特色

本校准装置的特色是采用了双配置四探针法测量方块电阻参数，比传统的单配置四探针法提高了测量精度。具备手动测量和自动测量功能。采用负压吸附装置固定被测样片；采用电动滑台控制被测样片的测量点；采用防误操作软硬件装置避免由于误操作引发的硅片划伤。本单位编制、发布和宣贯了JJF(军工) 191- 2018《硅单晶方块电阻标准样片校准规范》。

3.3能够解决什么问题或需求

为了保证硅单晶方块电阻标准样片测量的准确可靠，特建立硅单晶方块电阻标准样片校准装置，对硅单晶方块电阻标准样片进行校准。

4、目前服务的客户，解决了什么问题。

为国家计量院做比对试验，提供比对数据。

与美国NIST技术交流，测量NIST的标准样片，得出双配置四探针法优于单配置四探针法的结论。

5、研制新产品成本预估

研制新产品成本预估130万。

联系方式：010-64102255 计量市场部