2018年3月21日，由国家发展和改革委员会、环境保护部和工业和信息化部共同组织制定的，由中国电子技术标准化研究院主导编制的《电子器件（半导体芯片）制造业清洁生产评价指标体系》通过了专家审定。来自半导体制造企业、研发机构及相关协会的专家经审定一致认为该指标体系设置合理，反映了半导体芯片制造行业清洁生产特点，重点突出，具有可操作性，能进一步推进节能减排和污染防治工作，从而促进半导体制造行业可持续发展。

《电子器件（半导体芯片）制造业清洁生产评价指标体系》的草案源自部电器电子产品污染防治标准工作组的行业标准项目--《电子电气产品清洁生产技术指南 半导体器件》（2009-2868T-SJ）（根据国家发展改革委办公厅“关于清洁生产评价指标体系整合修编方案及工作分工的通知”（文件号：发改办环资[2013]1907号）要求，该项目中止），该指标体系在编制过程中得到了国内外相关行业协会、企业、研究机构和行业专家的鼎力支持。

该指标体系的制定可有效的支撑我国《清洁生产促进法》及环境保护相关法律法规的贯彻实施，有利于促进和指导半导体制造企业开展清洁生产，从而达到清洁生产及末端排放水平评价的要求。