关于行业标准《芯片生产厂房微振动控制工程技术规范》（征求意见稿）征求意见的通知

各有关单位、专家：

根据《工业和信息化部办公厅关于印发2022年第一批行业标准制修订和外文版项目计划的通知》（工信厅科函〔2022〕94号）的要求，由电子工程标准定额站归口管理的电子工程建设行业标准《芯片生产厂房微振动控制工程技术规范》（计划号：2022-0114T-SJ）已完成征求意见稿的编制工作。为保证项目的进度和质量，现公开征求意见，请于2024年9月30日前将《征求意见表》寄送（或发电子邮件）给主编单位中国电子工程设计院股份有限公司。相关联系方式如下：

联 系 人：吕佐超、刘影

通信地址：北京市海淀区西四环北路160号B座

电子邮箱：lvzuochao@sdic.com.cn，liuying002@sdic.com.cn

联系电话：13681287707，13810259850

附件一：《芯片生产厂房微振动控制工程技术规范》（征求意见稿）.pdf

附件二：《芯片生产厂房微振动控制工程技术规范》（征求意见稿）编制说明.pdf

附件三：《芯片生产厂房微振动控制工程技术规范》征求意见表.docx