关于电子行业标准《半导体装备工厂设计规范》（征求意见稿）公开征求意见的通知

各有关单位、专家：

根据《工业和信息化部办公厅关于印发2022年第一批行业标准制修订和外文版项目计划的通知》（工信厅科函〔2022〕94号）的要求，由工业和信息化部电子工业标准化研究院电子工程标准定额站归口管理的电子行业标准《半导体装备工厂设计规范》（项目号：2022-0113T-SJ）现已完成征求意见稿的编制工作。为保证标准的进度和质量，现公开征求意见，请于2025年2月13日前将《征求意见表》寄送（或发电子邮件）给主编单位信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司。相关联系方式如下：

联系人：韩敏娟、胡天碧

通信地址：四川省成都市成华区双林路251号

电子邮箱：hanmj@edri.cn，hutb@edri.cn

电 话：13482590906、13882271281

附件一：《半导体装备工厂设计规范》征求意见稿.pdf

附件二：《半导体装备工厂设计规范》编制说明（征求意见稿）.pdf

附件三：《半导体装备工厂设计规范》征求意见表.docx